イハラサイエンス
地球規模で活躍する
イハラサイエンスの
最適配管システム
半導体・液晶分野 半導体・液晶分野

半導体・液晶分野

半導体製造に求められるセンシティブな要件。
「最適配管システム」の高精度な製品群がそれに応えます。

進化し続ける一連の半導体・液晶製造装置は、非常に高精度なシステムです。これら本体はもとより、その付帯設備や工場へのUtility配管においても、イハラサイエンスの「最適配管システム」は数多く採用されています。コンパクトでコストパフォーマンスが高いことはもちろん、施工は簡単・確実にできメンテナンス性も良好。なにより半導体製造で、流体ごと用途ごとに求められるセンシティブな要件にも応えられる高精度な製品群と、ソリューションがその最大の特徴です。大口径Aサイズベローズ弁から、チュービングサイズまで全ての配管材を供給出来るのはイハラサイエンスだけと自負しております。

半導体製造
主な納入装置・設備

  • スパッタリング装置
  • 単結晶引上げ装置
  • エッチング装置
  • 露光装置
  • レジスト処理装置
  • 洗浄装置
  • アニール装置
  • CVD装置
  • 真空蒸着装置
  • ドライ真空ポンプ
  • コーターデベロッパ
  • ガス精製機
  • サンプリングボックス
  • 排ガス処理装置
  • クリーンルーム
  • 純水装置
  • 貼り合わせ装置
主な製品など

  • BI-Lok(ステンレス)

  • VTF

  • AWF

  • ダイヤフラム

  • ベローズバルブ他CP製品

  • NTF